原位熱脫附過程的運行參數的檢測主要是溫度的變化情況。通常溫度檢測一般由熱電偶和溫度采集系統組成，熱電偶等溫度探頭一般布置在中間電極或者加熱井等一些溫度達到指定值較為困難的區域。接下來是對污染的濃度檢測，當溫度持續上升后，達到VOCs的沸點后，污染物析出率開始增加并達到峰值，這時抽提回收率有明顯的提高。達到回收率峰值之后，檢測重點開始轉向土壤和地下水污染物濃度。由于熱處理過程是一個復雜的物理化學過程，在處理過程中常常會伴隨著副產物的產生。過程中對于地下水的監測，一些之前地下水中沒有的化合物會出現。尤其是有機物含量較高的土壤中，加熱會加速有機物化合裂解過程，酮類或者其他水溶性有機化合物會產生。不過，副產物一般存在時間很短，很快就轉化為其他穩定物質。

   當系統達到指定溫度之后，溫度會進行持續狀態檢測。這部分檢測主要是對于穩定能量投入的評估，而且還需要對整個系統在高溫情況下的氣壓和液壓進行檢測。溫度的持續狀態需要及時進行檢測，并快速的評估這個加熱過程，以保證系統的穩定性和安全性。整個原位熱脫附處理過程的檢測分為兩個部分，一部分是自動檢測，當前一般采用遠程溫度采集以及控制監控;另一部分是需要操作人員每天對現場運行狀態進行檢測。

   原位熱脫附技術有以下幾個優點：廣譜、高效；可同步處理污染土壤與地下水；相對于其他的特別是異位技術，該技術無二次污染，對周圍環境干擾少；系統靈活，移動性好，可重復使用；可與原位淋洗、化學氧化、生物修復配合使用。原位熱脫附技術在我國具有極大潛力。
   原位熱脫附技術按照加熱方式，可以分成蒸汽加熱、電阻加熱和熱傳導加熱。根據能源性不同，分燃氣加熱和電加熱。按照升溫的溫度可以分成低溫和高溫兩種，低溫和高溫界限通常為100℃。蒸汽加熱和電阻加熱溫度通常低于100℃，熱傳導溫度可達100℃以上。污染物并不是一定需要加熱到沸點以上才能夠從土壤中分離，只要加熱通常都是促進解吸的，只是時間長短的問題。
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